தளவிளைவு அளவியல்

தளவிளைவு அளவியல் (ellipsometry) என்பது மெல்லிய படலங்களின் மின்கடத்தா பண்புகள் (கூட்டு விலகல் எண் அல்லது மின் கடத்தா செயல்பாடு) பற்றி புலன் ஆராய்வதற்கான ஒரு ஒளியியல் நுட்பம் ஆகும். இது பிரதிபலிப்பு அல்லது ஒலிபரப்பின் மீது துருவமுனைவாக்கத்தில் ஏற்படும் மாற்றத்தை அளவிடுவதோடு அதை ஒரு மாதிரியுடன் ஒப்பிடுகிறது.

இது கலவை(பொதிவு), கடினத்தன்மை, தடிமன்(ஆழம்), படிக இயல்பு, மாசூட்டலின் செறிவு, மின்கடத்துத்திறன் மற்றும் பிற பொருட் பண்புகளை விரித்துரைக்க பயன்படுகிறது. ஆய்வு செய்யப்படும் பொருளுடன் இடைவினை புரியும் படுகதிரின் ஒளியியல் மறுமொழியின் மாற்றத்திற்கு இது எளிதில் தூண்டப்படும்.